热导式气体传感器用于集成电路制造中电子气体浓度检测

凤凰火

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近年来，随着电子行业的快速发展，电子气体在半导体行业中的地位日益突出。电子特种气体在集成电路制造中应用广泛，涉及很多制造环节。其中，惰性气体主要用作保护气体，常用于高温烘烤或清洗过程中，如氮气、氩气、氦气等。

作为集成电路制造的关键材料，随着下游工业技术的快速迭代，电子特种气体的精细化程度不断提高，尤其是在纯度和精度方面。比如纯度方面，一般工业气体要求在99.99%左右，但在先进集成电路制造过程中，要求气体纯度在6N(99.9999%)以上。

集成电路产业是先进制造业的基础产业，下游应用覆盖汽车、通信、电器、计算机、航空航天、军工、光伏等主要行业。半导体集成电路技术的进步和产业的发展，催生和推动了物联网、人工智能、大数据、工业互联网等新兴产业。

说到集成电路，就不得不提“硅”。硅是集成电路生产中最重要的原材料，硅片市场约占整个半导体材料市场的三分之一。目前，90%以上的集成电路芯片都是以硅片为衬底的。可以说，硅是集成电路的承载基础。

在集成电路制造过程中，经常会用到高纯电子气体，如N2、H2、O2、Ar、he等，常用于高温热退火、保护气体、清洗气体等。此外，硅生产设备的单晶炉也离不开惰性气体。单晶炉是在惰性气体(主要是氮气和氦气)环境下，用石墨加热器熔化多晶硅等多晶材料，用提拉法生长无位错单晶硅的一种设备。在单晶硅的实际生产中，它对控制硅晶体的温度和质量起着关键作用。

电子气体的使用也不是随心所欲的，不同的使用环境对浓度有不同的要求。这就需要对电子特气浓度进行监测，工采网技术工程师推荐使用热导式气体传感器来检测电子特气浓度。工采网代理的多个品牌的热导式气体传感器如以下几款：

德国HLP 热导式气体传感器 - TCS208F，采用先进的 MEMS 加工技术生产，利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601，基于帕拉尼原理的真空度检测，需要超低功耗，长寿命和免维护。

荷兰Xensor 高速响应热导式气体传感器 - XEN-5320-ALU，传感器探头外露，响应速度超快，T90响应时间< 1 s，可用于医疗、R&D和工业环境中，氢气H2、氦气He、二氧化碳CO2、氮气N2及甲烷CH4气体混合的监控和泄露检测。