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紫外线传感器用于紫外准分子灯清洁微电子产品时紫外辐...

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安防传说人物

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发表于 2023-10-25 10:06:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在工业领域作业中,最常用的准分子波长是172nm其能量足以直接裂解所有有机分子的主要键,除了碳和氧之间的键和一些无机氧化物之间的键,这使其成为表面改性、光清洗和光固化的绝佳选择。
准分子灯,又称紫外线准分子灯,是利用准分子气体比例,获得172nm222nm308nm等不同单色波长的高强度准分子紫外光,准分子发射的紫外光具有单光谱特性。窄的谱线和单色的紫外线辐射光谱,使其能够使用更集中的功率进行光处理。
与普通汞紫外线灯相比,准分子紫外线灯功率极大,靶向更为精准,无汞,绿色环保,可回收,无二次污染。它们克服了现有的技术瓶颈,具有能量密度高、反应温度低、反应时间短等特点,在微电子、医药、、生态环境保护等领域得到了广泛而独特的应用。
准分子灯最常见的应用是清洁微电子产品。当紫外线照射到固体表面后,表面污染物的有机分子被强烈的光能切断和氧化,进而分解为氧和氢等挥发性物质,最后挥发消失,清洗后的表面清洁度极高。
在使用紫外准分子灯进行清洁时要注意紫外线的辐射强度,辐射强度的大小对最终的清洗效果是有一定影响的,辐射强度低清洁效果不理想,工采网技术工程师推荐使用紫外线传感器来进行UV准分子灯的紫外线辐射强度监测,如工采网代理的韩国GENICOM 紫外线传感器 - GFUV-T10GD-L,以氮化镓铝为基础的材料,Schottky-type光电二极管,光伏模式操作;适用于远紫外线监测、准分子灯监控。

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