永诚真空浅谈真空镀膜机常见故障

永诚真空

永诚真空浅谈真空镀膜机常见故障

一、在镀膜过程中，真空度会突然下降

1.蒸发源水道中的胶罔环(替换胶罔)

2.打穿坩埚(替换坩埚)

3.高压电极密封处(更换胶圈)被击穿

4.机械转动的密封处胶圈损坏(更换)

5.前阀突然关闭可损坏二位五通阀(替换二位五通阀)

6.高流量阀门突然关闭可能是位五通阀门损坏(更换二位五通阀门)

7.机械泵的关闭可能是继电器的断开(检查继电器是否正常工作)

8.烧结引入线电极密封处(替换胶盖)被击穿

9.挡板动封处的胶固损坏(更换胶园)

10.玻璃观察镜有裂痕和裂痕(玻璃更换)

! |+ X% x9 B2 \二、长时间工作时，镀膜机抽真空时间很长，不能达到工作真空，恢复真空，极限真空，保真空：

" X2 o. H$ W/ |! v. k% p5 N" N1 j
1 T9 Y* ?; p7 z9 a5 ~; u- r

1.蒸发室粉尘较多(洗洗机)

2.扩散泵长期未换油(应清冼换油)

3.前级泵反压强过大机泵真空度过低(应清冼换油)

4.活动式密封圈损坏(更换胶园)

5.由于蒸发室的长期高温，各密封胶园会老化(更换胶因)

6.蒸发室各引水口密封件是否有胶罔损坏(更换胶圈)

7.各引入座螺丝螺母(再压)是否有松动

8.高低预阀门(注油)密封可靠与否。

永诚真空是专门从事PVD,镀钛,真空镀膜,真空电镀,离子镀膜,真空镀技术研发和生产应用的高新技术企业，公司凭着良好的基础，丰富的真空镀膜经验及先进的生产设备，热心服务于社会各界客户。

" [& V! U/ |: N5 U1 W) n