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[供应] 永诚真空浅谈真空镀膜机常见故障

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安防精英

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发表于 2021-5-13 15:15:33 | 显示全部楼层 |阅读模式
永诚真空浅谈真空镀膜机常见故障
一、在镀膜过程中,真空度会突然下降
1.蒸发源水道中的胶罔环(替换胶罔)
2.打穿坩埚(替换坩埚)
3.高压电极密封处(更换胶圈)被击穿
4.机械转动的密封处胶圈损坏(更换)
5.前阀突然关闭可损坏二位五通阀(替换二位五通阀)
6.高流量阀门突然关闭可能是位五通阀门损坏(更换二位五通阀门)
7.机械泵的关闭可能是继电器的断开(检查继电器是否正常工作)
8.烧结引入线电极密封处(替换胶盖)被击穿
9.挡板动封处的胶固损坏(更换胶园)
10.玻璃观察镜有裂痕和裂痕(玻璃更换)

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二、长时间工作时,镀膜机抽真空时间很长,不能达到工作真空,恢复真空,极限真空,保真空:
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1.蒸发室粉尘较多(洗洗机)
2.扩散泵长期未换油(应清冼换油)
3.前级泵反压强过大机泵真空度过低(应清冼换油)
4.活动式密封圈损坏(更换胶园)
5.由于蒸发室的长期高温,各密封胶园会老化(更换胶因)
6.蒸发室各引水口密封件是否有胶罔损坏(更换胶圈)
7.各引入座螺丝螺母(再压)是否有松动
8.高低预阀门(注油)密封可靠与否。
永诚真空是专门从事PVD,镀钛,真空镀膜,真空电镀,离子镀膜,真空镀技术研发和生产应用的高新技术企业,公司凭着良好的基础,丰富的真空镀膜经验及先进的生产设备,热心服务于社会各界客户。
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