永诚真空浅谈真空镀膜机常见故障 一、在镀膜过程中,真空度会突然下降 1.蒸发源水道中的胶罔环(替换胶罔) 2.打穿坩埚(替换坩埚) 3.高压电极密封处(更换胶圈)被击穿 4.机械转动的密封处胶圈损坏(更换) 5.前阀突然关闭可损坏二位五通阀(替换二位五通阀) 6.高流量阀门突然关闭可能是位五通阀门损坏(更换二位五通阀门) 7.机械泵的关闭可能是继电器的断开(检查继电器是否正常工作) 8.烧结引入线电极密封处(替换胶盖)被击穿 9.挡板动封处的胶固损坏(更换胶园) 10.玻璃观察镜有裂痕和裂痕(玻璃更换)
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二、长时间工作时,镀膜机抽真空时间很长,不能达到工作真空,恢复真空,极限真空,保真空:
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1.蒸发室粉尘较多(洗洗机) 2.扩散泵长期未换油(应清冼换油) 3.前级泵反压强过大机泵真空度过低(应清冼换油) 4.活动式密封圈损坏(更换胶园) 5.由于蒸发室的长期高温,各密封胶园会老化(更换胶因) 6.蒸发室各引水口密封件是否有胶罔损坏(更换胶圈) 7.各引入座螺丝螺母(再压)是否有松动 8.高低预阀门(注油)密封可靠与否。 永诚真空是专门从事PVD,镀钛,真空镀膜,真空电镀,离子镀膜,真空镀技术研发和生产应用的高新技术企业,公司凭着良好的基础,丰富的真空镀膜经验及先进的生产设备,热心服务于社会各界客户。 8 o% G$ l2 e: [- R
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