同远表面：武汉微电机系统中电镀技术的应用

同远表面

微电子系统与微机械系统相结合形成的微电机系统( MEMS) ,其特点是尺寸微小，功能强大。

近年，随着人工智能技术的高速发展，MEMS产业已经全方位快速渗透到军事、医疗、生物、仿生学及航空航天等领域。构成微电机系统的零部件尺度都在微米甚至纳米。

电镀技术是一一个从原子、离子尺度开始的材料制造以及零部件制造技术。电镀技术与光刻蚀技术相结合发展而成的MEMS技术,已经成为MEMS领域的尖端技术(2426)。

图13为采用电镀MEMS技术制造的金属部件照片，图14为MEMS模块中微小的机械部件照片,图15为采用MEMS技术制造的纳米泵技术,图16为EPSON公司采用MEMS技术制造的微型飞行器,图17为采用MEMS技术制造的可移动微型机器人。